该厂为84英寸晶圆出产线配套工程的超超纯水平台，每日产生含硅废渣150吨。废渣中虽无巨资属，但硅纯度高易积垢，且功率电阻率需可达18MΩ·cm性能中水回用。原来加工处工院艺不可充分考虑新施行的《电子无线鑫霖环保水严重污染源减排原则》（GB39731-2020）尤为减排规定值。 废水处理工艺化学物质优点和缺点 最主要环境有害物质 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、颗粒肥料硅（比表面积0.1-1μm） 特殊化的要求 ：TOC<10μg/L，硼的含量<5μg/L 水源性 ：低导电率（<50μS/cm）但硅有机物行态错综复杂 解决工序的流程 全新分为"梯级膜区分+电去化合物"组合名字工艺设计： 微滤预除理 ：1μm陶瓷厂家膜短信拦截大颗料硅，通量保持80LMH 阳离子互转树脂胶 ：D201大孔光敏树脂条件性吸附剂硅酸碳原子 二次RO软件 ：第十二段收废率60%，第十二段利用高脱硼膜组件 EDI电去铁离子 ：直流电压规格2A/m²，延续洗去残渣铝离子 紫外线杀菌消毒 ：254nm太阳光的太阳极为线药量40mJ/cm² 技术应用特色 开发管理专业级阻硅剂（有机酸胺类混合物），推迟膜环境污染寿命3倍 EDI引擎全新流道制定，硅我们要除率升降至99.8% 网上硅解析仪（校正面积0.1-500μg/L）构建识贫有效控制 自动运行成果 经第三步方查测： 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼的含量从8μg/L减至0.3μg/L 系統回收并率从原40%改善至68% 膜改换周期长延长了至5年，年行驶投入下降35%