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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导解决器制作业厂在晶圆加工生产步骤中,用到硅烷做出硅外延性生長,废气排放干洗塔引起高质量浓度含硅污焦化废水 。污焦化废水 兼备pH震荡大(2-11)、硅的含量高的优点和缺点,中国传统解决形式易发生硅垢淤塞问題。 废污水化学物质及来原 废渣最主要组成成分为: 溶水性硅酸盐 :SiO₂溶度达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢氧化的钠 :洗衣塔强酸强碱洗衣液杂质 颗粒剂硅 :奈米级SiO₂橡胶胶体部分 痕量砷 :原材残渣进入 进行处理工艺设计步骤 技术创新用到"两极结合+膜筛选+化掉沉淀"施工工艺: 一层与 :用CaO控制pH至4-5,自动生成硅酸钙析出,硅剔除率60%。 2级结合 :加Na₂CO₃将pH增加至9,进一部沉垫超过硅,串联用镁剂除砷。 反渗透装置模式 :0.02μm卫浴陶瓷膜进行过滤微米级硅颗粒肥料,通量稳固在80LMH。 MVR蒸发掉器 :果汁高盐废液,结晶体出Na₂SO₄副產品,水造纸废水处理率超90%。 结果英文功效 总硅从1500mg/L调至5mg/L下类 砷分子量从0.8mg/L降落到0.01mg/L 平台无结渣运动高出2年 第二年收旧磷酸钠硫化锌约800吨

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