某半导解决器制作业厂在晶圆加工生产步骤中,用到硅烷做出硅外延性生長,废气排放干洗塔引起高质量浓度含硅污焦化废水 。污焦化废水 兼备pH震荡大(2-11)、硅的含量高的优点和缺点,中国传统解决形式易发生硅垢淤塞问題。
废污水化学物质及来原
废渣最主要组成成分为:
溶水性硅酸盐
:SiO₂溶度达1000-1500mg/L
硝酸钠/氢氧化的钠
:洗衣塔强酸强碱洗衣液杂质
颗粒剂硅
:奈米级SiO₂橡胶胶体部分
痕量砷
:原材残渣进入
进行处理工艺设计步骤
技术创新用到"两极结合+膜筛选+化掉沉淀"施工工艺:
一层与
:用CaO控制pH至4-5,自动生成硅酸钙析出,硅剔除率60%。
2级结合
:加Na₂CO₃将pH增加至9,进一部沉垫超过硅,串联用镁剂除砷。
反渗透装置模式
:0.02μm卫浴陶瓷膜进行过滤微米级硅颗粒肥料,通量稳固在80LMH。
MVR蒸发掉器
:果汁高盐废液,结晶体出Na₂SO₄副產品,水造纸废水处理率超90%。
结果英文功效
总硅从1500mg/L调至5mg/L下类
砷分子量从0.8mg/L降落到0.01mg/L
平台无结渣运动高出2年
第二年收旧磷酸钠硫化锌约800吨