某光电器件开发制造业企业因晶圆的清洗工步有含氨电镀废水，蓄水量200吨/天。电镀废自来水中除化学需氧量外还含氟化物和进样器血本属，治疗一定难度大。当地人释放标淮标准要求化学需氧量＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废液化学成分及的来源 晶圆清晰生活污水（关键的来源）：含氯离子200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工艺污废水 ：含微量分析铜、镍等巨资属，pH值上下波动大 CMP机磨工业废水：含硅顆粒及氯离子 工作施工工艺流量 选用"耐腐蚀石雕文化沉淀+膜离心分离+折点氯化"三人组合生产工艺： 预清理 ：加药CaCl2除氟，的控制pH在7.5-8. 反渗透膜软件系统 ：清理0.01μm上文颗粒状物 ro反渗透工作会更浓缩造成 ：将挥发酚浓缩造成至1000mg/L以上的 折点氯化 ：精确度高操纵氯加药系统量，将氧化还原电位变为为氢气 铁离子互相交换 ：保护血本属达到 既定成效 氟化物安全稳定＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 血本属浓度高于监测限 水工业废水处理率达75% 工业废水存在量限制40%